用于产生氮化硅纳米结构的系统、方法和组合物
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用于产生氮化硅纳米结构的系统、方法和组合物
来源：北方有色网
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简介： 本文中公开了用于产生氮化硅纳米结构的系统、方法和组合物。在至少一个实施方案中，将碳原料预加工，与硅原料合并以及在含氮化合物的存在下退火以产生氮化硅纳米结构。
本文中公开了用于产生氮化硅纳米结构的系统、方法和组合物。在至少一个实施方案中，将碳原料预加工，与硅原料合并以及在含氮化合物的存在下退火以产生氮化硅纳米结构。
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