用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺
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用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺
来源:北方有色网
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简介:
本发明属于熔融石英生产领域,具体公开了一种用于多晶硅坩埚的熔融石英的提纯工艺,包括(1)破碎、(2)冷淬、(3)碾压、(4)磁选除杂、(5)浮选、(6)超声除杂、(7)高温真空处理、(8)熔炼、(9)研磨、(10)分装这些步骤,本发明公开的提纯方法工艺简单,提纯效果显著,得到的高纯熔融石英可用于生产多晶硅的坩埚使用。
本发明属于熔融石英生产领域,具体公开了一种用于
多晶硅
坩埚的熔融石英的提纯工艺,包括(1)破碎、(2)冷淬、(3)碾压、(4)磁选除杂、(5)
浮选
、(6)超声除杂、(7)高温真空处理、(8)熔炼、(9)研磨、(10)分装这些步骤,本发明公开的提纯方法工艺简单,提纯效果显著,得到的高纯熔融石英可用于生产多晶硅的坩埚使用。
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标签:通用技术
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