简介： 本发明公开了一种薄膜电池铜铟镓硒合金靶材的制备方法，采用多室真空梯度液相合成技术，制备熔点、密度相当的In2Se3、Ga2Se3等中间化合物解决硒的挥发以及硒与其它元素充分合金化问题，再在同一梯度真空炉中合成制备铜铟镓硒四元化合物，然后将这些化合物真空制粉、热压烧结可制得纯度高、密度大、晶粒细、成分均匀布、单一相黄铜矿结构的铜铟镓硒合金靶材。