简介： 本发明公开了一种近零膨胀薄膜材料，其分子式为Mn3InC1+x，由锰、锡、碳三种元素组成，其原子比基本为Mn:In:C＝3:1:(1+x),其中(x＝‑0.2～0.1),其晶体结构为钙钛矿结构。本发明所述薄膜材料在220K‑330K较宽温度范围内具有近零热膨胀性能，该材料负热膨胀性能是各向同性的，具有良好热导性，结构稳定，该材料电阻率为3.45×10‑7Ω·m，在合金材料的电阻率范围，且原料便宜，制备相对简单，在制备与使用时都非常环保。