型号
LPC-100
信号频率
13.56MHz+/-0.005%
功率输出范围
0W-500W
最大反射功率
100W
射频输出接口
50Ω,N-type,female
功率稳定度
+/-0.1%
谐波分量
≤-50dbc
供电电压
单相交流(187V-253V)频率50/60HZ
整机效率
≥70%
功率因素
≥90%
冷却方式
强制风冷
反应舱规格
Φ165*L210mm(石英材质)
反应舱有效容积
4.5L
输入电源
220V/50HZ
整机输入功率
射频功率
0-500W(连续可调)
射频频率
13.56MHz
常用工作气体
空气、氩气、氮气或混合气体等
整机规格
500*250*300mm(长*宽*高)
整机重量
25KG
标题:等离子清洗机