分子式：Al2O3
纯度：99.99%
CAS号：1344-28-1
摩尔质量：101.96
密度：3.5 g/cm³
熔点：2054ºC
沸点：2980 ℃
溶解性(水)：不溶于水，易溶于强碱和强酸
氧化铝靶材(Al2O3)产品概况
氧化铝靶材(Al₂O₃)是以
高纯铝粉为原料，经氧化、成型及高温烧结工艺制备的陶瓷材料。
难溶于水的白色固体，无臭、无味、质极硬，易吸潮而不潮解(灼烧过的不吸湿)。
氧化铝是典型的两性氧化物(刚玉是α形属于六方最密堆积，是惰性化合物，微溶于酸碱耐腐蚀 )，能溶于无机酸和碱性溶液中，几乎不溶于水及非极性有机溶剂;
氧化铝靶材(Al2O3)产品应用
半导体器件、光学器件及航空航天高温部件的表面功能化需求，是精密电子、光学工程与极端环境防护领域的核心镀膜材料。
◉ ASML光刻机镜头
193nm增透膜系
基底：合成石英|沉积温度：150℃
性能验证：
- 单面反射损失<0.08%
- 波前畸变<λ/40 @193nm
工艺方案：离子束辅助沉积(IAD)优化致密度
◉ 车规级IGBT模块
耐湿HTRB测试：150℃/85%RH/1000h无失效
创新结构：Al₂O₃/SiNₓ叠层(界面陷阱密度<10¹⁰ cm⁻²)
量产案例：英飞凌HybridPACK™良率提升6.5%
◉ 航空发动机热障
涡轮叶片粘结层
TGO生长抑制：1300℃/100h氧化增重<0.5mg/cm²
协同机制：Al₂O₃纳米层阻断氧扩散(MCrAlY涂层寿命↑50%)
◉ 柔性OLED封装
WVTR<5×10⁻⁷ g/m²/day(85℃/85%RH)
弯折寿命>20万次@R=2mm
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京公网安备 11010702002294号
