半导体与微电子用铬靶
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半导体与微电子用铬靶
来源:北京中金研新材料科技有限公司
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简介: 铬(Chromium, Cr)是一种高硬度、耐腐蚀、耐高温的金属材料,在薄膜沉积领域中具有重要地位。铬靶材常用于电极层、阻挡层、粘附层及光学薄膜的制备,具有良好的附着性和膜层稳定性,是半导体工艺、光学镀膜与功能涂层中的关键基础材料。技术特点高纯度(3N5–4N),薄膜电学、附着性与耐腐蚀性更稳定;硬度高、抗脆裂性能好;膜层附着力强,是常用的粘附层材料;工艺稳定、颗粒脱落率低、膜层均匀致密;支持多种尺寸、厚度与背板结构定制。铬靶材广泛用于:1. 半导体与微电子金属粘附层(如Cr/Au体系)扩散阻挡层电极层及互连结构2. 光学镀膜反射膜(Cr反射率稳定,常用于金属光学镀膜)吸收膜、滤光膜防护膜与结构增强膜3. 机械与表面防护涂层耐磨膜防腐保护层装饰镀膜(如黑铬膜)4. 科研领域Co-Cr、Ni-Cr 合金薄膜研究功能性复合膜结构设计电子束镀膜与PVD涂层系统
工作原理 技术参数 选型原则 应用案例 设备结构
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