产品详细参数如下：
产品类别 合金靶材
产品简称 FeCoTa
产品全称 Iron Cobalt Tantalum
产品纯度 99.9%，99.95%，99.99%
产品形状 平面靶，柱状靶，电弧靶，异型靶
生产工艺 Vacuum Melting，PM
最大尺寸 L≤200mm，W≤200mm
铁钴钽合金是铁、钴、钽元素组成的合金，靶材形状通常为圆形，其沉积的膜层是垂直磁记录介质重要的软磁层材料。由于该合金材料含有大量的钽，在凝固过程中，会产生偏析，不助于沉积成分均匀的薄膜，我们采用独特的快冷工艺，得到的合金靶材晶粒细小，成分均匀。为了保证材料的纯度和减少夹杂物的数量，采用高纯的稳定坩埚和高真空熔炼技术，确保了材料的纯净度，提高了材料的力学性能，避免了靶材在使用过程的开裂问题。
铁钴钽合金靶材的化学成分：
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京公网安备 11010702002294号
