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钨钛合金靶材

来源：北京中科言诺新材料科技有限公司
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简介： 钨的高原子量、钛的高耐腐蚀性、极好的不同表面附着力，再加上这些材料的溶解度都使钨钛（WTi）成为用于防止外来原子扩散的致密层的理想解决方案，广泛用于半导体和薄膜太阳能电池。

产品详细

钨的高原子量、钛的高耐腐蚀性、极好的不同表面附着力，再加上这些材料的溶解度都使钨钛（WTi）成为用于防止外来原子扩散的致密层的理想解决方案，广泛用于半导体和薄膜太阳能电池。对于半导体应用，WTi10wt％薄膜用作扩散阻挡层和粘附层，以将金属化层与半导体分离，例如，将铝与硅分离，或将铜与硅分离。对于薄膜太阳能电池，WTi10wt％薄膜还用作阻挡层，以防止钢基底中的铁原子扩散至CIGS功能膜层。中科言诺可生产WTi 90 / 10wt％，WTi 85 / 15wt％，可定制特殊成分，实际靶材密度> 99％，平均晶粒度<100um。凭借较高的纯度和特殊的退火处理，均匀的晶粒尺寸以及较低的气体含量，最终用户可以在PVD工艺中获得恒定的腐蚀速率以及高纯度和均匀的薄膜涂层。