镍铜钛溅射靶材是一种包含Ni,Cu和Ti的合金溅射材料。中科言诺可以采用真空感应熔炼的方法制备不同钛含量的镍铜钛合金靶材,一般钛含量低于3%。镍
铜合金中加入少量钛元素后,采用显微组织观察、拉伸试验和腐蚀试验等研究钛含量对合金显微组织、力学性能及模拟海水中耐腐蚀性能的影响,可以看到在合金中加入少量钛后,晶粒明显细化,组织中有细小弥散分布的第二相析出,并随着钛含量的增加而增多,当合金中钛含量大于1.79%时,组织中还会出现大尺寸块状相。同时随着钛含量的增加,镍铜钛合金的强度和硬度逐渐提高,而塑形则有一定下降。在模拟海水腐蚀试验中,腐蚀速率随钛含量的增加先降后升,当钛含量为0.88%时,腐蚀速率最低。