工作原理
HL200SDSW采用旋转载物台与多镜头协同成像技术:样品固定于电动旋转载物台,以0.1°-360°可调角度自动旋转,同时配备的4组高清摄像头从不同方位同步采集图像。系统通过特征点匹配与深度学习算法,将多视角图像拼接为三维点云模型,并生成分辨率达0.1μm的表面形貌图。例如,检测金属零件表面划痕时,设备可在5分钟内完成360°扫描,自动识别0.02mm宽的缺陷,并输出三维形貌图与深度剖面曲线。
应用范围
该设备覆盖多行业精密检测需求:在半导体制造中,可检测晶圆边缘崩边、芯片封装翘曲,精度达亚微米级;在3C电子领域,支持手机中框、摄像头模组的全景形貌分析,辅助优化装配工艺;在生物医学领域,适用于组织工程支架、细胞微载体的三维结构观察,为再生医学研究提供数据支持;在航空航天领域,还能分析涡轮叶片涂层厚度均匀性,确保高温部件可靠性。
技术参数
HL200SDSW配备电动旋转载物台,旋转速度0.1°-10°/s可调,定位精度±0.005°;4组500万像素CMOS摄像头,帧率30fps,支持明场、暗场、偏光等多种照明模式;三维重建速度≤5分钟/360°,点云密度达5000点/mm²;设备尺寸600×500×700mm,净重45kg,适配220V/50Hz电源;软件支持STL、OBJ等通用3D格式导出,兼容Geomagic、PolyWorks等第三方分析软件。
产品特点
全视角覆盖:360°无死角扫描消除传统显微镜的视角盲区,单次检测即可获取样品完整形貌;
高精度重建:亚微米级分辨率与纳米级重复定位精度,满足半导体、精密加工等行业的严苛要求;
智能高效:一键式操作自动完成扫描、拼接与分析,较传统接触式测量效率提升80%;
多功能集成:支持2D/3D切换观察、动态形貌追踪与虚拟截面切割,适配不同检测场景需求。