工作原理
MX4R基于光学放大与成像技术,通过无限远色差校正光学系统实现高分辨率成像。光源发出的光线经聚光镜聚焦后照射样品表面,反射或透射光线通过物镜形成放大实像,再经目镜二次放大至观察者视野。设备配备5孔内倾式转换器,支持5X-100X长工作距半复消色差物镜快速切换,结合DIC微分干涉模块,可清晰呈现材料表面微小缺陷与晶界结构,成像对比度较传统显微镜提升40%以上。
应用范围
该设备适用于钢铁、铝合金、钛合金等金属材料的晶粒度分析、夹杂物评级及相组成鉴定,典型场景包括:晶圆表面划痕与污染检测、汽车齿轮渗碳层厚度测量、航空发动机叶片涂层均匀性评估,以及半导体封装焊点微观结构分析。其105mm×105mm大行程载物台可兼容6英寸晶圆及异形样品,满足工业检测多样化需求。
技术参数
MX4R总放大倍率50X-1500X,目镜采用PL10X/22mm高眼点平场设计,物镜配置5X-100X无限远长工作距金相物镜,数值孔径达0.85。设备配备30°铰链式三目观察筒,分光比支持双目/三目100:0或50:50切换,内置12V100W卤素灯与5W LED双光源系统,光强连续可调。载物台采用双层机械结构,粗微调同轴设计,微调精度0.001mm,支持低手位便捷操作。
产品特点
多模态成像:集成明场、斜照明、偏光、DIC四种观察方式,无需更换设备即可完成从常规检测到微区缺陷分析的全流程。
高稳定性结构:低重心金属机架搭配风循环散热系统,抗振能力提升30%,确保长时间使用成像稳定性。
人机工程学设计:前置粗微调同轴旋钮与低手位载物台控制,降低操作疲劳度,提升检测效率。
模块化扩展:支持数码相机、图像分析软件等配件升级,可拓展为自动化金相分析系统。