工作原理
S800基于超声波的反射与透射特性,通过压电换能器发射高频脉冲超声波(标配15MHz探头,带宽1-30MHz),以去离子水为耦合介质穿透样品。当超声波遇到内部缺陷(如裂纹、空洞、分层)或材料界面时,部分声波反射回探头,另一部分透射至深层。设备搭载高速数据采集卡(采样频率100MHz)实时捕获反射信号,结合C扫描(横向扫描)与T扫描(透射扫描)模式,生成高分辨率三维图像,精准定位缺陷位置、形状及尺寸。
应用范围
该设备覆盖多领域检测需求:在半导体行业,可检测IGBT模块多层键合质量、晶圆键合分层及倒装芯片底部填充缺陷;新能源领域支持锂电池电解液浸润性分析、水冷板散热器钎焊虚焊检测;适用于金属复合材料、陶瓷基板、碳纤维板材等大型工件的内部结构评估,单次检测面积达1000mm×700mm(双通道模式扩展至1100mm),满足新能源汽车电池托盘、航空发动机叶片等复杂构件的批量筛查需求。
技术参数
S800整机尺寸1900×1550×1650mm,有效扫描范围1000×700×150mm,最大扫描速度800mm/s,定位精度X/Y轴±0.5μm、Z轴±5μm,重复定位精度达X/Y轴±0.01mm、Z轴±0.02μm。配置I5工控机、8GB内存及双27英寸液晶显示器,支持1-4000μm图像分辨率调节,兼容1-230MHz超声探头,满足从微电子器件到大型结构件的检测需求。
产品特点
高速高精度:直线电机驱动X轴与光栅尺反馈系统,实现微米级运动控制,800mm/s扫描速度提升检测效率;
智能成像:自主研发检测软件支持图像自动着色、缺陷面积统计及厚度测量,非技术人员可快速识别缺陷;
灵活扩展:单/双通道水槽设计适配不同工件尺寸,支持托盘扫描模式实现批量检测;
工业级可靠性:全封闭水槽与上下水循环系统保障连续运行稳定性,适用于生产线在线检测场景。