高速型大型超声扫描显微镜
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高速型大型超声扫描显微镜
来源:东莞市中特精密仪器科技有限公司
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简介: 东莞市中特精密仪器科技有限公司推出的高速型大型超声扫描显微镜S800,是一款集高频超声成像与精密运动控制于一体的无损检测设备,专为工业领域大型工件内部缺陷检测设计,广泛应用于半导体、新能源、航空航天等高端制造行业。
产品详细

中特


工作原理

S800基于超声波的反射与透射特性,通过压电换能器发射高频脉冲超声波(标配15MHz探头,带宽1-30MHz),以去离子水为耦合介质穿透样品。当超声波遇到内部缺陷(如裂纹、空洞、分层)或材料界面时,部分声波反射回探头,另一部分透射至深层。设备搭载高速数据采集卡(采样频率100MHz)实时捕获反射信号,结合C扫描(横向扫描)与T扫描(透射扫描)模式,生成高分辨率三维图像,精准定位缺陷位置、形状及尺寸。



应用范围

该设备覆盖多领域检测需求:在半导体行业,可检测IGBT模块多层键合质量、晶圆键合分层及倒装芯片底部填充缺陷;新能源领域支持电池电解液浸润性分析、水冷板散热器钎焊虚焊检测;适用于金属复合材料、陶瓷基板、碳纤维板材等大型工件的内部结构评估,单次检测面积达1000mm×700mm(双通道模式扩展至1100mm),满足新能源汽车电池托盘、航空发动机叶片等复杂构件的批量筛查需求。



技术参数

S800整机尺寸1900×1550×1650mm,有效扫描范围1000×700×150mm,最大扫描速度800mm/s,定位精度X/Y轴±0.5μm、Z轴±5μm,重复定位精度达X/Y轴±0.01mm、Z轴±0.02μm。配置I5工控机、8GB内存及双27英寸液晶显示器,支持1-4000μm图像分辨率调节,兼容1-230MHz超声探头,满足从微电子器件到大型结构件的检测需求。



产品特点


高速高精度:直线电机驱动X轴与光栅尺反馈系统,实现微米级运动控制,800mm/s扫描速度提升检测效率;

智能成像:自主研发检测软件支持图像自动着色、缺陷面积统计及厚度测量,非技术人员可快速识别缺陷;

灵活扩展:单/双通道水槽设计适配不同工件尺寸,支持托盘扫描模式实现批量检测;

工业级可靠性:全封闭水槽与上下水循环系统保障连续运行稳定性,适用于生产线在线检测场景。

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标签:高速型大型超声扫描显微镜,物理检测设备
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