工作原理

Formtracer CS-3200S4基于接触式轮廓扫描技术：

高精度探针系统：配备金刚石或红宝石探针，以恒定接触力（0.5-10mN可调）沿样品表面滑动，探针垂直位移通过高分辨率电感传感器（分辨率0.3nm）实时检测。

气浮导轨驱动：X轴采用非接触式气浮导轨，消除机械摩擦干扰；Z轴配备闭环控制直线电机，实现高速（最大5mm/s）且无振动的垂直扫描。

智能环境补偿：内置温度传感器与振动隔离系统，自动修正热膨胀与微小振动对测量结果的影响，确保长期稳定性。

应用范围

机械加工：测量工件表面粗糙度（Ra/Rz）、波纹度、圆度及直线度，验证磨削、抛光或车削工艺效果。

汽车制造：检测发动机缸体、轴承套圈、齿轮齿面的形貌参数，优化摩擦副配合与耐磨性能。

半导体封装：分析芯片键合线高度、焊球共面性、晶圆表面台阶高度，支持微电子组装精度控制。

模具制造：表征模具型腔、冲头表面的加工纹理与缺陷，指导电火花加工（EDM）或激光熔覆修复。

材料研究：测量薄膜厚度、涂层均匀性、金属疲劳裂纹扩展形貌，辅助新材料开发与失效分析。

技术参数

测量范围：X轴200mm/400mm（可选），Z轴5mm/10mm（可选）

垂直分辨率：0.3nm（电感传感器）

水平分辨率：0.01μm（光栅尺）

探针接触力：0.5-10mN（可调）

最大扫描速度：5mm/s（X轴）

粗糙度参数：支持Ra、Rz、Rq、Rp、Rv等30+国际标准计算

软件功能：兼容ISO 4287、ISO 25178标准，支持3D形貌重建、频谱分析及批量数据处理

产品特点

超刚性气浮导轨：X轴气浮导轨与Z轴直线电机组合，消除机械摩擦与爬行现象，实现纳米级重复定位精度。

智能探针保护：内置力反馈控制系统，当探针接触力超过设定值时自动停止扫描，避免样品或探针损坏。

多尺度测量能力：单次扫描可同时获取表面粗糙度与宏观形状数据，减少多次装夹误差。

一键式自动校准：软件内置自动校准程序，支持探针半径补偿、垂直度校正与系统误差修正，操作便捷。

模块化扩展设计：可选配激光干涉仪、旋转载物台等附件，适配圆柱面、曲面等复杂形状测量需求。

全球行业认证：通过ISO 9001、ISO/IEC 17025认证，符合汽车（VDA 6.3）、航空（AS9100D）等严苛标准。