工作原理
ZTD-60以高刚性花岗岩基座为支撑,搭载德国进口空气轴承导轨,通过伺服电机驱动测量滑座沿X/Y轴双向移动,移动过程摩擦阻力趋近于零,确保运动平稳性。英国高精度光栅尺实时采集位移数据,分辨率达0.0005μm,同步配合高清显微成像系统捕捉工件边缘轮廓。内置智能分析软件运用亚像素边缘提取算法与最小二乘拟合技术,自动计算长度、直径、圆度、平行度等参数,测量结果以0.001μm级精度显示于15英寸触控屏,并支持动态测量轨迹回放与三维形貌重建。
应用范围
该设备覆盖多行业精密检测场景:航空航天领域可完成涡轮叶片榫头尺寸、发动机轴类零件同轴度的纳米级检测;半导体制造行业适用于晶圆厚度、键合线弧高及芯片封装尺寸的亚微米级验证;精密模具领域能测量型腔轮廓偏差与冲头尺寸一致性;医疗器械行业则可检测人工关节表面粗糙度及导管壁厚波动。此外,设备支持与三坐标测量机数据互通,可辅助复杂曲面工件的全尺寸检测与逆向工程分析。
技术参数
ZTD-60测量范围X轴600mm、Y轴300mm,分辨率0.0005μm,重复性≤0.003μm,最大允许误差±(0.2+L/800)μm(L为测量长度)。设备配备5×、10×、20×可更换物镜,支持表面粗糙度Ra值0.0005-6.3μm检测,测量力范围0-1.5N可调,环境温度适应范围20±0.5℃(恒温舱内)。数据输出格式兼容Excel/PDF/DXF,存储容量1TB固态硬盘,支持USB3.2与万兆以太网高速传输。
产品特点
进口核心部件保障精度:德国空气轴承导轨与英国光栅尺组合,实现超低摩擦运动与纳米级位移采集;
全能型检测能力:集成一维长度、二维平面及简单三维形位误差测量功能,适配多样化检测需求;
智能化操作体验:15英寸触控屏搭载ZT-Measure Ultra软件,支持一键式自动测量、SPC统计分析及多语言切换,操作效率提升50%;
高效数据管理:内置Wi-Fi 6E模块,支持测量数据实时上传至企业云端,与MES/ERP系统无缝对接,助力实现数字化质量控制闭环。