工作原理
HD750采用同轴落射照明技术,通过分光镜将LED光源垂直投射至样品表面,反射光线经物镜聚焦后进入成像系统。这种设计有效消除了传统斜射照明产生的阴影干扰,尤其适用于平面度高、表面反光均匀的样品(如金属镀层、晶圆芯片)。配合高倍物镜(如10X、20X、50X)与高分辨率相机,可实现微米级结构的清晰成像,并通过内置软件完成尺寸标注、形位公差测量等分析任务。
应用范围
该显微镜广泛应用于电子元器件检测(如IC引脚间距测量、SMT焊点缺陷分析)、精密机械加工(如模具磨损量评估、螺纹参数检测)、材料表面分析(如涂层厚度测定、划痕宽度测量)及半导体行业(如晶圆表面颗粒计数、光刻胶线宽测量)。其非接触式测量特性避免了样品损伤,同时支持快速批量检测,显著提升生产效率。
产品技术参数
光学系统:无限远校正同轴光路
物镜倍率:5X/10X/20X/50X(可选配)
总放大倍数:40X-500X(搭配10X目镜)
照明方式:可调亮度LED同轴光+环形透射光(双模式切换)
测量精度:±(2+L/500)μm(L为测量长度,单位mm)
图像传感器:1/2.5英寸500万像素CMOS
载物台:高精度X/Y/Z三轴电动平台(行程50mm×50mm×50mm)
产品特点
高稳定性结构:全金属机身与花岗岩基座设计,有效抑制振动,确保长时间测量重复性。
智能软件系统:支持一键测量、自动对焦、SPC统计分析等功能,兼容CAD图纸导入与测量报告生成。
模块化扩展性:可升级激光共聚焦模块、光谱分析模块等,满足多元化检测需求。
人性化操作:10.1英寸触控屏与手轮微调双控制模式,适配不同用户操作习惯。
HD750同轴光测量显微镜以精准、高效、灵活的核心优势,助力企业实现质量管控的数字化升级。