工作原理

多焦点图像采集：系统搭载电动调焦模块，在Z轴方向连续采集数十至数百张不同焦平面的图像，覆盖样品表面高度起伏范围（最大景深扩展达10mm）。

超景深融合算法：基于深度学习模型的焦点评价函数，自动识别每张图像的最佳清晰区域，通过加权融合技术生成单张全焦点图像，消除传统显微镜的离焦模糊。

3D形貌重建：结合结构光投影或相位测量偏折术（PMP），从多角度图像中提取表面高度信息，通过立体匹配与全局优化算法，构建高精度三维点云模型（点间距≤0.5μm）。

智能拼接技术：采用特征点匹配与光束法平差算法，将多区域全焦点图像或三维数据无缝拼接，实现大尺寸样品（如12英寸晶圆、PCB板）的单幅全景呈现，拼接精度达亚像素级（≤0.1像素）。

应用范围

半导体制造：检测芯片封装引脚共面性（≤2μm）、BGA焊球高度一致性（±1μm）及晶圆表面划痕深度（≥50nm），支持2.5D/3D封装结构的全貌分析。

材料科学：分析金属涂层表面裂纹扩展路径、陶瓷晶界相三维分布及高分子材料表面自组装结构，量化粗糙度参数（Sa、Sq）与纹理方向性。

生物医学：观察组织切片全层结构（如皮肤表皮-真皮交界区）、细胞培养皿大面积细胞分布及微流控芯片通道轮廓，辅助病理诊断与器官芯片研发。

工业质检：测量精密零件表面缺陷（如划痕、凹坑）的三维形貌、纺织物纤维排列密度及印刷品网点扩大率，支持在线实时检测（速度≤3秒/帧）。

地质考古：重建矿物颗粒三维形貌、文物表面腐蚀层厚度分布及化石微结构，为材料成分分析与保护修复提供数据支撑。

技术参数

光学系统：无限远校正光学设计，支持5×~100×物镜切换（NA≤0.95）

景深扩展：单次采集最大景深10mm（5×物镜）或0.5mm（100×物镜）

拼接精度：亚像素级（≤0.1像素），重复定位误差≤0.5μm

3D测量范围：X/Y轴：20mm×20mm（可扩展至300mm×300mm）；Z轴：0.1μm~10mm

成像速度：全焦点图像合成≤2秒/帧，三维重建≤5秒/区域（512×512像素）

光源类型：LED环形光+同轴光+偏振光（波长365nm~780nm可调）

数据接口：USB 3.2 Gen2×2/10Gbps光纤，支持RAW、TIFF、STL等多格式输出

产品特点

真正“所见即全”：单次扫描即可获取大视场内全焦点清晰图像与三维形貌数据，消除传统显微镜需多次调焦的繁琐操作。

智能自适应拼接：内置AI算法自动识别样品边缘与特征区域，动态调整拼接策略，适应复杂表面（如曲面、透明层）的无缝融合。

多模态数据融合：支持荧光、偏振、暗场等多模式成像与三维数据同步采集，揭示样品表面化学成分、应力分布与微观结构关联性。

工业级可靠性：全金属机身设计，抗振动（固有频率≥50Hz）与防尘（IP54等级），适配产线在线检测与实验室高精度分析双重场景。

用户友好交互：15.6英寸触控屏集成所有功能，支持手势缩放、3D模型旋转及一键式自动报告生成，搭配远程协助功能，降低专业操作门槛。