工作原理

KC-X100基于激光共聚焦扫描与针孔滤波技术：

激光激发与聚焦：405nm蓝紫色激光经单模光纤耦合至扫描振镜，通过物镜聚焦至样品表面，形成直径200nm的衍射极限光斑。

共焦点信号采集：仅当光斑与样品焦平面重合时，反射光或荧光通过物镜原路返回，经分光镜反射至共焦针孔（直径与艾里斑匹配），有效滤除非焦平面杂散光。

三维点阵扫描：通过振镜控制激光在X/Y方向逐点扫描，同时压电陶瓷载物台驱动样品在Z轴步进移动，构建百万级点云数据，实现全视野三维重建。

超分辨算法增强：采用去卷积与压缩感知算法，对原始图像进行频域扩展，突破衍射极限，将横向分辨率提升至120nm（较传统共聚焦提高1.8倍）。

应用范围

半导体制造：检测晶圆表面颗粒污染（≥50nm）、光刻胶残留及TSV通孔侧壁粗糙度（Ra≤0.3nm），验证EUV光刻图形保真度。

生物医学：观察活细胞线粒体动态分布、神经元突触连接及肿瘤组织微环境，支持双色荧光标记与长时间活体成像（≤72小时）。

材料科学：分析金属疲劳裂纹扩展路径、陶瓷晶界相组成及高分子材料表面自组装结构，量化纳米颗粒尺寸分布（D50±2nm）。

微纳电子：测量MEMS传感器梳齿间隙（≤1μm）、量子点阵列排列周期及2D材料层间堆叠角度，辅助石墨烯转移工艺优化。

失效分析：定位集成电路互连层电迁移空洞、LED芯片量子阱缺陷及太阳能电池绒面结构损伤，指导工艺改进与良率提升。

技术参数

激光波长：405nm（可扩展至488nm/561nm双波长）

横向分辨率：120nm（超分辨模式）

纵向分辨率：0.5nm（Z轴步进精度1nm）

扫描范围：X/Y轴：100μm×100μm~10mm×10mm（可选配电动载物台扩展）

成像速度：512×512像素@10帧/秒（全视野）

荧光探测灵敏度：单光子计数（SNR≥50:1）

数据接口：USB 3.1 Gen2/10Gbps光纤（支持实时原始数据传输）

软件功能：内置3D渲染、粒径分析、共定位定量及AI自动缺陷分类模块，兼容ImageJ、MATLAB、Python二次开发。

产品特点

真正亚细胞级成像：405nm短波长激光与超分辨算法结合，清晰分辨线粒体嵴结构（宽度≈150nm）与微管蛋白亚基排列（周期≈8nm）。

无标记活体兼容：支持明场、反射差分干涉（RDI）及自发荧光成像模式，无需染色即可观察细胞自然形态与运动轨迹。

智能环境适应性：内置温度控制（±0.1℃）与声学隔离罩，抑制实验室空调气流（≤0.5m/s）与振动（≤0.01μm）对成像质量的影响。

模块化快速升级：支持荧光模块、光谱仪及原子力显微镜（AFM）联用，10分钟内完成从光学成像到力-电耦合分析的功能扩展。

用户友好设计：12英寸触控屏集成所有控制功能，支持手势缩放与3D模型旋转，搭配一键式自动对焦与自动扫描参数优化，降低操作门槛。