工作原理
KC-X1000基于激光共聚焦色差位移检测技术:
多波长光源投射:白光LED通过衍射光栅分光,形成连续波长谱线(400nm~700nm),经物镜聚焦至被测表面。
共焦点信号采集:仅当波长与物镜数值孔径匹配时,反射光通过针孔滤波器被探测器接收,形成共焦强度曲线。
表面高度解算:通过分析不同位置共焦曲线的峰值波长偏移,结合色差位移算法,实时计算表面各点高度值,单次扫描点密度达320万点/秒。
动态补偿机制:内置温度传感器与振动监测模块,自动修正环境干扰对测量结果的影响,支持在车间光照(≤3000lux)及振动(≤0.05mm/s²)条件下稳定工作。
应用范围
半导体制造:检测晶圆表面粗糙度(Ra≤0.1nm)、芯片键合线弧高及TSV通孔形貌,验证光刻胶涂覆均匀性,符合SEMI标准。
光学元件:测量透镜曲率半径(R≤5mm)、膜层厚度分布及非球面面形误差(PV值≤λ/20),辅助自由曲面加工工艺优化。
3C电子:分析手机中框CNC加工纹路、屏幕盖板镀膜层间结合力,检测连接器引脚共面度(≤2μm),替代传统投影仪与CMM。
生物医学:扫描人工关节表面涂层孔隙率、牙齿隐裂深度及细胞培养皿底面平整度,支持组织工程支架三维结构重建。
精密模具:检测注塑模具型腔表面纹理复制率、压铸模分型面飞边高度,验证EDM加工放电坑深度一致性。
技术参数
测量范围:X/Y轴:50mm×50mm~300mm×300mm(可选配扩展)
Z轴量程:10mm(垂直分辨率0.01μm)
横向分辨率:1μm(物镜倍率10×)
重复性:≤0.05μm(2σ)
扫描速度:最大600mm/s(线扫描模式)
光源类型:高亮度白光LED(寿命≥20000小时)
数据接口:USB 3.0/Gigabit Ethernet(支持实时点云传输)
软件功能:内置ISO 25178表面纹理分析、GD&T形位公差检测及3D彩色偏差图输出,兼容CATIA、UG、SolidWorks等主流CAD格式。
产品特点
真正非接触测量:激光光斑直径仅2μm,可穿透透明介质(如玻璃)测量内部轮廓,避免对软质材料(如橡胶、凝胶)造成压缩变形。
超宽动态范围:单次扫描同时捕获微观纹理(粗糙度Ra)与宏观形貌(平面度),无需切换设备或调整参数。
智能抗反光设计:采用偏振滤波与多角度入射光路,有效抑制金属、陶瓷等高反光表面的测量噪声,减少显像剂喷涂步骤。
模块化快速换型:支持5×/10×/20×物镜快速更换,10秒内完成测量范围与分辨率的切换,适配多品种小批量生产模式。
一体化便携设计:主机重量≤15kg,集成工业电脑与触摸屏,支持三脚架、机器人或直线导轨搭载,满足实验室与产线双场景需求。