工作原理

InfiniteFocus SL采用双模光学引擎协同优化：

垂直扫描白光干涉（VSI）：通过高速压电陶瓷驱动物镜垂直移动，同步采集样品表面反射光与参考光的干涉条纹。系统利用相位解调算法计算每个像素点的绝对高度，生成高精度三维形貌图（垂直分辨率达0.1nm）。

动态共聚焦旋转扫描：环形光束经旋转针孔滤波后聚焦于样品表面，结合高速振镜实现动态扫描，消除传统共聚焦的层间串扰，提升透明材料（如玻璃、薄膜）的测量穿透力与边缘清晰度。

智能环境自适应：内置温度传感器与主动减震系统，实时修正热漂移与机械振动对测量结果的影响，确保亚微米级重复性精度。

应用范围

航空航天：测量涡轮叶片涂层厚度、发动机零件表面粗糙度（Ra/Rz）与疲劳裂纹，验证超精密加工与热障涂层工艺。

半导体制造：检测晶圆表面缺陷、芯片封装键合线高度、光刻胶涂层均匀性，支持3nm及以下制程质量控制。

精密模具：分析模具型腔、刀具刃口的微观形貌与加工纹理，优化电火花加工（EDM）与抛光工艺参数。

生物医学：无损测量细胞表面拓扑结构、组织工程支架孔隙率，辅助药物释放与细胞黏附研究。

光学元件：表征透镜曲率半径、镀膜厚度、表面波纹度，优化激光聚焦与成像系统性能。

技术参数

垂直分辨率：0.1nm（VSI模式）/ 10nm（共聚焦模式）

横向分辨率：0.35μm（物镜×100）

测量范围：0.1μm-10mm（垂直）× 100mm×100mm（水平，可选配电动平台扩展）

粗糙度参数：支持Ra、Rz、Rq、Rp、Rv等20+国际标准计算

扫描速度：单帧0.05秒（高速模式）/ 5秒（高精度模式）

光源类型：LED白光（VSI）+ 激光二极管（共聚焦，波长405nm/658nm可选）

软件功能：兼容ISO 25178、ASME B46.1标准，支持3D形貌对比、GD&T几何公差分析与批量数据处理

产品特点

双模高速智能切换：单次扫描自动匹配VSI与共聚焦模式，适应反光、透明、粗糙等多类型表面，测量效率提升300%。

超低振动抗干扰：主动减震台与闭环压电驱动系统，消除0.005μm级环境振动，保障产线与实验室环境下的稳定性。

透明材料穿透测量：共聚焦模式可穿透800μm厚透明层，直接获取下表面形貌数据，解决传统接触式测量的穿透难题。

一键式智能报告：内置汽车、航空、半导体等行业模板库，支持导出PDF/3D PDF/Excel格式检测报告，含统计分析与趋势图表。

模块化柔性扩展：可选配电动旋转载物台、多物镜转盘、自动化上下料系统，适配柔性制造与无人化产线集成需求。

全球严苛认证：通过PTB（德国物理技术研究院）认证，符合VDA 6.3（汽车）、AS9100D（航空）等国际行业标准。