工作原理

Park XE7采用独立闭环的XY轴柔性平台与Z轴压电叠堆传动装置，实现扫描器的正交解耦。XY轴通过固体铝材柔性平台驱动，具备超高正交性与平面外运动精度，扫描频率可达100Hz，支持1kg大型样品；Z轴采用高共振频率（约10kHz）的压电叠堆装置，配合True Non-Contact™模式，通过精确控制探针与样品间距（几纳米级），利用原子间作用力变化实现非接触式成像。该设计彻底消除传统管式扫描器的背景曲率问题，在15μm扫描范围内平面外误差不超过1nm，确保原子级光滑样品（如硅片）的真实形貌还原。

应用范围

覆盖半导体封装缺陷检测、锂电池电极孔隙分析、金属材料晶界观察及生物大分子结构表征等领域。在电子制造中，可无损分析PCB焊点虚焊、芯片键合层空洞；新能源领域支持电池隔膜孔隙率测量及极片剥离强度评估；生物医学方面，可对细胞膜、蛋白质复合体等软样品进行液相环境下的高分辨成像，避免接触式探针的机械损伤。

产品技术参数

分辨率：横向≤1nm，纵向≤0.1nm（液相环境）

扫描范围：XY轴100μm×100μm，Z轴15μm（可选30μm）

样品台：支持150mm晶圆或16个10mm×10mm小样品，兼容真空吸附固定

探测器：五百万像素同轴光学系统，激光光斑直径≤10μm

操作模式：支持接触模式、轻敲模式、True Non-Contact™模式等12种扫描模式

产品特点

True Non-Contact™技术：探针与样品间距精确控制在原子力作用范围内，避免接触损伤，探针寿命延长10倍以上，成像20次后仍保持锐度。

串扰消除（XE）扫描系统：独立闭环的XY/Z轴设计消除扫描器弓形弯曲，实现平直正交扫描，边缘位置无过冲现象。

智能化操作：SmartScan™软件支持图形化编程，可自动完成探针预准直、激光校准及样品逼近，初学者30分钟内即可掌握基础操作。

模块化扩展：支持KPFM（开尔文探针力显微镜）、PFM（压电力显微镜）等高级模式，兼容加热台、电化学池等附件，满足多场景研究需求。