工作原理

OLS5100采用激光共焦扫描技术，以405nm短波长激光二极管为光源，通过电磁感应MEMS谐振扫描仪（X轴）与Galvano扫描振镜（Y轴）协同工作，实现低失真、高精度的二维扫描。激光束经物镜聚焦于样品表面，反射光通过共轭针孔滤除离焦信号，仅接收焦点处的高对比度光子，形成光学切片。系统通过逐点扫描构建三维形貌，结合峰值强度分析（I-Z曲线）获取表面高度信息，Z轴方向分辨率达0.5nm，动态范围16位，确保对纳米级台阶与亚微米级粗糙度的精准捕捉。

应用范围

覆盖金属材料、复合材料、半导体器件及生物样本的微观结构分析。典型场景包括：铝合金轮毂热处理裂纹检测、MEMS传感器表面形貌表征、3D打印金属件层间结合强度评估、玻璃钢复合材料纤维分布分析，以及电子元器件微结构缺陷筛查。设备支持最大210mm样品的非破坏性测量，尤其适用于航空航天、汽车制造及精密电子领域的高精度检测需求。

产品技术参数

光学系统：双光路设计（激光共焦+彩色成像）

激光波长：405nm（二级管激光）

放大倍率：54×-17,280×

视场范围：16μm-5,120μm

Z轴测量精度：±(0.15+L/100)μm（L为测量长度）

载物台行程：电动100×100mm/手动300×300mm

数据接口：USB 3.0/HDMI，支持4K图像输出

产品特点

智能实验管理：内置Smart Experiment Manager软件，可自动生成扫描计划、填充实验数据矩阵，减少30%操作时间，避免人工输入误差。

物镜智能匹配：Smart Lens Advisor通过三步评分系统推荐最优物镜，确保粗糙度测量结果稳定性，降低对操作员技能依赖。

超快扫描模式：跳跃扫描功能可在20秒内完成1mm台阶高度差测量，PEAK算法支持数秒内采集数十微米范围数据。

非接触无损检测：无需样品制备，低功率激光避免热损伤，适用于易碎材料（如陶瓷、高分子薄膜）的表面分析。