工作原理
设备通过高分辨率CMOS传感器与专业显微物镜捕捉多焦点图像序列,AI算法自动识别并融合不同景深层的细节,生成超景深三维模型。结合深度学习技术,系统可自动标记裂纹、孔洞、划痕等缺陷,并依据预设标准进行分类与定量分析。ACUMEN AI采用闭环对焦系统与光强校正技术,确保长时程测试的图像稳定性。
应用范围
该系统广泛应用于半导体行业晶圆缺陷检测(如线路断点、污染颗粒)、生物医学领域细胞与组织切片分析(如肿瘤病理诊断)、精密制造中模具与电子元件的表面质量控制(如MEMS器件),以及科研机构新型材料(如二维材料、复合涂层)的微观结构解析。典型应用包括材料失效分析、工艺优化验证及产品研发阶段的形貌特征比对,覆盖从实验室到生产线的全流程检测需求。
产品技术参数
传感器:8K分辨率CMOS(像素尺寸1.4μm)
物镜:5×-200×(支持明场/暗场/偏光)
扫描范围:最大150×150mm(电动载物台)
成像速度:≥50帧/秒(全分辨率)
三维重建精度:亚微米级(Z轴分辨率≤0.1μm)
AI功能:自动缺陷识别、形貌特征分类、尺寸测量
样品要求:最大厚度30mm(支持透明/不透明样品)
电源:220V±10%,50/60Hz,功率≤1000W
尺寸:1000×700×1600mm(主机),重量≈350kg
软件功能:超景深融合、三维建模、符合ISO/ASTM标准,支持LIMS系统对接与多语言界面(中/英/日),内置AI训练平台。
产品特点
超景深与AI智能分析:8K传感器结合多焦点融合技术,生成无变形三维模型;AI算法可识别微米级缺陷,自动生成检测报告。
全自动化与高效性:电动载物台支持预设路径扫描,单样品分析时间缩短至3分钟;标配96位自动进样器,适配批量检测需求。
多模式兼容与扩展性:支持明场/暗场/偏光切换,可选配共聚焦、拉曼光谱模块,适配多样化分析场景。
用户友好与耐用性:触控式界面支持一键式操作,内置教学视频与故障排查指南;核心部件采用防抖设计,寿命≥50000小时,维护成本低。
合规性与安全性:符合CE与RoHS标准,配备紧急停机保护与光强自动调节功能,确保实验室操作安全。