工作原理

设备通过高能电子束（加速电压可调至200kV）穿透样品，利用电磁透镜聚焦电子束并扫描样品表面。球差校正器通过调整电子束的相位，纠正传统透镜的球面像差，显著提升电子束的聚焦精度。扫描透射模式（STEM）下，电子束与样品相互作用后，不同角度的散射电子被高角环形暗场（HAADF）、明场（BF）等探测器接收，生成高对比度的原子级分辨率图像；结合X射线能谱仪（EDS），可同步分析样品的元素组成与分布。

应用范围

该设备广泛应用于材料科学中纳米材料的原子结构解析（如金属有机框架MOFs）、半导体器件的界面缺陷检测（如二维材料层间堆垛）、催化剂的活性位点定位（如单原子催化剂），以及生物医学中病毒颗粒的超微结构观察（如新冠病毒刺突蛋白排列）。典型应用包括锂电池正极材料中过渡金属元素的原子级分布分析、量子点材料的晶格缺陷表征，以及高分子复合材料中纳米填料的界面相互作用研究，覆盖从基础研究到工业开发的全流程需求。

产品技术参数

加速电压：50~200kV（可调）

点分辨率：≤0.08nm（STEM模式，球差校正后）

线分辨率：≤0.1nm（TEM模式）

放大倍数：50×至1,500,000×

探测器系统：HAADF（高角环形暗场）、BF（明场）、DF（暗场）、EDS（能谱仪）

能谱分辨率：≤120eV（Mn Kα线）

样品台：五轴自动样品台（X/Y/Z/倾斜/旋转）

软件功能：支持三维重构（ECT）、原子计数分析、元素分布映射及标准样品库比对。

产品特点

亚埃级分辨率与球差校正：采用日立专利的球差校正技术，将STEM点分辨率提升至0.08nm，可清晰解析单个原子列的排列，尤其适用于轻元素（如碳、氮）的成像。

多模式同步分析：集成STEM成像、EDS能谱、电子能量损失谱（EELS，可选配）于一体，支持原子结构与化学信息的同步采集，提升分析效率。

智能化操作与稳定性：软件内置自动对焦、像散校正及样品漂移补偿功能，降低操作门槛；全封闭光学系统与低温泵设计，确保长期运行稳定性。

原位分析扩展性：支持加热（至1000°C）、加电、加压等原位样品台（可选配），可实时观察材料在服役状态下的结构演变。

用户友好与维护便捷：触控式操作界面与模块化设计，支持远程诊断与软件更新；电子枪与探测器采用免校准设计，降低维护成本。

日立HD-2700球差校正STEM凭借其卓越的亚埃级分辨率、多模式分析能力及智能化操作，为微观世界探索提供了前所未有的观测手段，助力用户在材料科学、纳米技术及生物医学领域实现原子级尺度的突破与创新。