工作原理

SJ6000基于迈克尔逊干涉原理，激光束经分光镜分为参考光束与测量光束：参考光束射向固定反射镜，测量光束射向被测物体表面或运动部件携带的移动反射镜。两束光返回后重新汇合产生干涉条纹，光电探测器将条纹变化转换为电信号，通过相位差计算实现位移、角度等参数的解算。系统内置环境补偿模块，实时采集温度、气压、湿度数据，自动修正激光波长变化，确保测量精度。

应用范围

该设备广泛应用于数控机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备等精密运动系统的几何精度检测，可测量导轨直线度、平面度、垂直度、回转轴定位精度及动态特性（如振动、加速度）。在科研领域，支持光学元件表面形貌分析、材料热膨胀系数测定及复杂结构三维形貌重建，尤其适用于航空航天、半导体制造等对精度要求严苛的行业。

技术参数

线性测量：量程0-80m，分辨率1nm，精度0.5ppm（20℃标准环境）；

角度测量：轴向量程0-15m，精度±0.02%R±0.1μm/m；

直线度测量：短程（0.1-4m）精度±0.5μm，长程（1-20m）精度±5μm；

动态分析：支持位移、速度、加速度、振幅与频率的实时监测，最大分析频率10kHz；

环境适应性：工作温度0-40℃，湿度0-95%RH（非冷凝）。

产品特点

高稳频激光源：双纵模热稳频技术结合分离式干涉镜设计，避免主机发热导致镜组形变，保障长期测量稳定性；

模块化扩展：标配线性镜组，可选配角度、直线度、垂直度、平面度镜组及自动精密转台，实现多参量同步检测；

智能化软件：向导式操作界面支持中英文切换，自动生成误差补偿表，兼容GB/T 17421、ISO 230等国内外标准；

抗干扰能力强：全光纤传输设计减少电磁干扰，适用于车间现场复杂环境下的高精度测量。