工作原理

JDS-1基于激光干涉原理，采用分光镜将激光束分为参考光与测量光：参考光照射至固定参考镜，测量光通过接触式探头照射至被测表面。当探头接触样本时，测量光路因表面形貌变化产生光程差，与参考光叠加形成干涉条纹。设备通过光电探测器捕捉条纹移动，结合接触式触发信号，将位移变化转换为电信号，最终由数字系统处理并显示测量结果，实现表面轮廓或形位误差的定量分析。

应用范围

适用于光学元件表面粗糙度检测（如透镜、棱镜）、半导体晶圆平整度测量（如TTV、LTV）、精密机械零件形位误差分析（如圆度、平面度），以及科研实验中纳米级位移校准。广泛服务于光学制造、半导体封装、航空航天及计量院所，助力质量控制与工艺优化。

产品技术参数

测量范围：0-100μm（垂直方向）

测量精度：±(0.01+L/100)μm（L为测量长度，单位mm）

分辨率：0.1nm（纳米级）

光源：He-Ne激光器（波长632.8nm，功率2mW）

探头类型：红宝石接触式探头（触点直径1mm）

数据接口：USB 2.0（支持PC软件控制）

工作温度：20℃±1℃（需恒温环境）

电源：AC 220V/50Hz（内置UPS不间断电源）

产品特点

接触触发与非接触测量结合：接触式探头确保测量定位精准，干涉技术实现纳米级分辨率，兼顾操作便捷性与数据准确性。

高稳定性激光光源：采用He-Ne激光器，波长稳定性优于0.001%，确保长期测量可靠性。

数字化数据处理：支持PC软件控制，可实时显示表面轮廓曲线、生成3D形貌图，并导出CSV数据文件。

环境适应性设计：内置温度补偿模块，减少环境波动对测量的影响；防振台设计降低外部干扰。

模块化扩展：可选配不同规格接触式探头（如0.5mm触点），适配微小零件检测需求。