设备介绍
郑州科佳生产的这款CVD管式炉广泛用于样品在真空和气氛条件下的烧结、涂层、纳米管研究、钎焊、退火等实验，适用于高校、研究机构实验室和工矿企业进行CVD工艺的科研和实验。
产品优势
双层壳体上开启结构
双层壳体上开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
LCD触屏操作系统
采用LCD触屏操作系统，操作方便快捷，数据可存储可通过EXCEL输出
优良的动密封系统
炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便，密封性强，可使得设备在旋转的过程中保持气氛状态
技术参数
加热系统(管式炉)
最高温度 1200 ℃
工作温度 ≤1100℃
显示 LCD触摸屏
管径 100mm(外径)(其他尺寸可按客户需求定制)
管材 高纯石英管
热区长度 300mm(其他尺寸可按客户需求定制)
加热元件 含钼电阻丝
加热速率 建议≤10℃/min
温度控制
•可保存16条温度曲线的LCD触摸屏控制，每条温度曲线可自动设置，可编程30步。
•通过SCR功率控制实现PID自动控制。
•内置超温和热电偶故障保护。
热电偶 N型
温控精度 ±1℃
炉膛 双层钢制外壳，带双冷却风扇，上开启结构
高纯度Al2O3纤维炉膛材质，保温节能
真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰
供气系统
浮子流量计 S标准流量范围：
气体流量为10-100ml/min(最终流量范围基于客户要求)
压力表 机械压力表(-0.1Mpa至0.15Mpa)
高真空扩散泵组 旋转叶片泵、扩散泵系统
极限真空：0.0001mbar
真空计 电阻真空计
电离真空计
冷水机组(选配) 冷水机组用于冷却水泵
质保 一年有限保修(加热元件等消耗品不在保修范围内)，并提供终身支持
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京公网安备 11010702002294号
