设备主要由管式加热炉、真空腔体、真空抽气及放气系统、 智能控制系统构成，可以对试验过程中的真空度和温度进行有效地控制、监测和记录，具有结构简单、操作方便安全、外形美观等特点。
1.管式炉最高加热温度1000℃，升温速率0～15℃/min可调;
2.管式炉采用对开式结构，开启方便，快捷;
3.均温区内温场均匀性±3℃，升温过程中，有效加热区平均升温速率≤4℃/min前提下，温度过冲不大于设置温度3℃;
4.真空室采用卧式结构，材质为高纯石英，满足设备在百级洁净间下的使用要求;
5.工件托架采用石英材质，可容纳直径200mm,12片晶圆;
6..设备可在高真空200℃情况下连续工作72小时以上，温度波动<2℃;
7.真空室可充入氮气、氩气，流量精确可控, 加装分流装置，并设置挡板，防止充气过快对产品有冲击;
8.配分子泵真空度6×10-4pa;
9、配高精度铠装热电偶;
10.采用西尼特智能温控软件，PLC控制，配7寸触摸屏，可设定30条工艺曲线，每条工艺曲线30步，可实时显示存储相关温度曲线，存储时间长达1200天。配备USB和以太网接口，可远程监控;
11.本设备可以根据用户需要提供定制;
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京公网安备 11010702002294号
