设备介绍

科佳KJ-TCVD1600-L80LB3是一款高温CVD管式炉，该设备采用刚玉炉管，工作温度可达1600℃，可抽真空通气氛，发热元件采用优良MoSi2，炉膛采用陶瓷纤维材料，具有安全可靠、操作方便、控温精度高、保温效果好、炉温均匀性高等特点。该设备适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

高纯氧化铝纤维炉膛

发热元件采用优良MoSi2，炉膛采用陶瓷纤维材料，保温性能好，经久耐用，抗拉强度高，无杂志，纯度高，节能效果明显

双层外壳结构 配备冷风系统

双层钢制外壳，带双冷却风扇，炉体表面温度安全不烫手，一体式不可打开炉门，保温效果好

可无人值守情况下操作

内置PID自动调节功能，具有过热和断开热电偶断开保护; 超温保护和报警允许在无人值守的情况下操作

技术参数

加热系统(管式炉)

最高温度 1700 ℃

工作温度 1600℃

显示 LED显示屏

管径 80mm(外径)(其他尺寸可按客户需求定制)

管材 刚玉管

热区长度 220+220+220mm

(其他尺寸可按客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

加热速率 建议0-10℃/min

温度控制

● PID自动通过SCR(可控硅整流器)控制功率，相位角触发，限流电阻器。

● 30个可编程段，用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。

● 内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。

● 超温保护和报警，允许在无人值守的情况下操作。

热电偶

3个热电偶(测量和温度控制功能)，位于每个热区的中间(管道外侧)

1个热电偶(仅测量温度)，位于管内。

温控精度 ±1℃

炉膛结构

双层钢制外壳，带双冷却风扇，用于冷却炉体表面温度

一体式不可打开炉门。

真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰

供气系统

4通道质子流量计： 一个气体混合罐安装在底部壳体上，带有液体释放阀

底壳左侧安装4个不锈钢针阀，控制4种气体混合

真空泵+真空计系统

真空泵+真空计 配备旋转叶片泵，使真空度达到10Pa(冷却状态)