工作原理
ALW-600B采用布拉格衍射原理:X射线管(如Cu靶,波长1.54Å)发射单色X射线,照射蓝宝石晶棒后产生衍射;测角仪同步旋转样品与探测器,记录特定晶面(如0001面)的衍射角(θ值)。通过布拉格方程(2d sinθ = nλ)计算晶面间距(d),结合蓝宝石(α-Al₂O₃,六方晶系)的晶体结构参数,精准确定晶棒的C轴方向,确保粘棒工艺的轴向精度≤0.1°,符合GB/T 33219-2016标准要求。
应用范围
该产品适用于LED行业蓝宝石衬底制备的粘棒定向(确保晶片切割方向与C轴平行);光学领域加工蓝宝石窗口、透镜的晶体取向控制;半导体产业制造GaN基外延片的衬底定向。其高精度定向能力支持蓝宝石粘棒工艺的自动化与标准化,是LED芯片厂、光学元件厂商及科研院所的关键设备。
产品技术参数
晶体材料:蓝宝石(α-Al₂O₃)
定向精度:≤0.1°(C轴方向)
测角仪范围:θ 0°~60°(连续扫描)
分辨率:0.001°(θ)
扫描速度:0.01°~50°/分钟(可调)
探测器:闪烁计数器或半导体探测器
X射线管:Cu靶(Kα,λ=1.5406Å),功率≤500W
数据输出:衍射角、晶轴偏差、合格判定
接口:USB 3.0、以太网、VGA
电源:AC 220V±10%,50Hz,功率≤1000W
工作环境:5~40℃,湿度≤85%RH
外形尺寸:800×600×1200mm(嵌入式机柜)
产品特点
高精度晶体定向:0.001°分辨率测角仪,精准控制蓝宝石晶棒C轴偏差,确保后续加工性能。
嵌入式工业设计:集成工业电脑与触控屏,支持自动扫描、数据分析与报告生成,适配生产线在线检测。
快速检测能力:单次扫描时间≤30秒,兼容蓝宝石粘棒工艺的批量检测需求。
智能校准与稳定性:内置标准样品自动校准功能,长期运行角度偏差≤0.02°,保障检测可靠性。
合规性保障:符合GB/T 33219-2016《多晶体X射线衍射方法通则》及ISO 13767-2013标准,测量数据可直接用于工艺控制与科研分析。