设备介绍

KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式炉由KJ-T1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。

产品优势

保温节能炉膛

内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

安全防烫炉壳

炉壳采用双层壳体结构，并带有风冷系统，用于降低壳体表面温度

PID30段程序化控温

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

技术参数

设备名称 温区CVD管式炉

设备型号 KJ-1200T-S60LK3-3FZ

高温炉壳 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，用于降低壳体表面温度

加热元件 电阻丝

最高工作温度 1200℃

工作温度 ≤1100℃

升温速率 建议≤10 ℃/min

炉管材质尺寸 石英管: 外径: 80mm x 内径: 75 mm x 长度: 1000 mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区长度 三温区：200+200+200 mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

控温系统 PID30段程序化控温

控温精度 +/- 1 ℃

真空密封系统 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀)，最大漏气率6 mtorr/min

真空泵 双旋机械泵

真空显示计 数显真空计,已安装在不锈钢法兰上

混气系统

三个质量流量计

三路质量量程分别为

10-100 cc/min.

16-160 cc/min.

25-250 cc/min

内部安装有一混气罐

售后服务 质保一年，终身保修

可选配件：

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、N型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份