设备技术指标：

1、真空室腔体:1套

1) 外形：304优质不锈钢D形前后开门(后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门)真空室腔体1套(真空室腔体表面抛光，外洁净美观，内部尺寸D400*480mm)，前后门配DN100视窗3套;

2) 底部：金属源接口3套，国产600L/S风冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口1套;

3) 顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套;

4) 左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。

2、金属/有机源系统：1套

1) 金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，兼容蒸发舟(钨、钼和钽舟)和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源3台(数字显示)，电流调整精度0.1A(微调)，功率满足常见的金属、金属氧化物以及常见有机材料的蒸镀;

2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污;

3) 其他：因其中一套蒸发源蒸镀材料Au，需比其他两源高1/3-2/3。

3、样品台系统：1套

1) 功能：可升降，可旋转(转速0～30转/分连续可调);

2) 托架：120*120样品托挂架，可安装小于120*120mm衬底(如：15*15mm样品25片或者25*25mm样品16片等，按客户需求);

3) 蒸距：样片与蒸发源间距200-300mm;

4) 挡板：样品托架电动挡板1套。

4、真空泵机组：1套

1) 国产600L/S风冷分子泵1台;

2) 8L/S直联旋片泵1台;

3) CF150高真空气动插板阀1台;

4) CF35高真空气动挡板阀1台;

5) KF16高真空气动挡板阀2台;

6) KF40高真空电磁截止阀1台;

7) KF40真空电磁充气阀1台;

8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套;

9) ZDF-5227数显真空计1台(测量范围：1×105～1×10-5Pa)。

5、膜厚检测系统：1套

1) 膜厚仪：采用INFICON，SQM310石英晶振膜厚监控仪(模式：顺序镀膜，探头输入：2通道;频率范围：4 至6 MHz;速率显示：0.01Å/秒;贮存：100 个过程, 1000 个膜层, 50 个膜系;具备与电源联锁功能，可实现单通道速率与膜厚控制，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜，实现自控膜厚之目的);

2) 膜厚探头：进口水冷膜厚探头1套。

6、设备机架：1套

1) 40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑;

2) 3英寸万向轮4件，移动调整;

3) M16地脚4件，锁紧定位。

7、其他电控系统：1套(电气控制采用1.8米电控柜内置)

1) 蒸发源挡板电源：1台;

2) 样品台以及其挡板电源：1台;

3) 烘烤照明电源：1台;

4) PLC控制器(配10英寸触摸屏)：1台;

5) 总控制电源(含机械泵电源)：1台。

8、其他技术参数：

1) 缺相保护、误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能;

2) 供电：～220V两相供电系统(峰值3KW);

3) 供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃;

4) 供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门;

5) 极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟(充干燥氮气)，关机12小时真空度≤10Pa。