滑轨式管式炉一体化结构设计，用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD
石墨烯工艺。
特点
● 工作温度范围：RT~1000°C。
●额外选配：炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统);真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组);气氛系统(浮子流量计、质量流量计);监控系统(温度记录仪、触摸屏远程监控);选件需配置拓展柜体。
技术参数
设备型号 最高温度 管径 加热区 温区数 热电偶 电压 功率
FGL(RTP)-40/11/1 1100℃ 40mm 320mm 1个 K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-60/11/1 1100℃ 60mm 320mm 1个 K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-80/11/1 1100℃ 80mm 320mm 1个 K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-90/11/1 1100℃ 90mm 320mm 1个 K型 220V 5.0KW
FGL(RTP)-100/11/1 1100℃ 100m 320mm 1个 K型 220V 5.0KW
FGL(RTP)-110/11/1 1100℃ 110mm 320mm 1个 K型 220V 5.0KW
注：给出的最高温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
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京公网安备 11010702002294号
