900℃带3路浮子混气RTP管式炉
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900℃带3路浮子混气RTP管式炉
来源:深圳市科晶智达科技有限公司
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简介: RTP-1000-LV3C是一款900℃的快速热处理(RTP)管式炉,专为半导体基片、太阳能电池及其他样品(尺寸可达3英寸)的退火工艺设计。该设备配备三路浮子流量计和机械泵,真空度可达10⁻³ Torr。采用9kW红外灯加热,最快升温速度可达100℃/秒,配备30段精确温度控制,精度为±1℃。此外,设备还配有RS485接口和控制软件,可通过计算机控制运行并显示温度曲线。其安装尺寸为600mm×600mm×597mm,重量为210lbs。在冶金领域,该设备可用于快速热处理金属材料,优化材料的微观结构和性能。
产品详细

RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉

RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉


应用范围:RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达 3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。

产品型号 :RTP-1000-LV3C

上架时间 :2019-07-18

安装尺寸:600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)

重量:210 lbs

RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达 3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。

性能指标和基本配置

RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉
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标签:管式炉,冶金设备
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