FR-Scanner：自动化高速薄膜厚度测量仪
简要描述：光学厚度测量仪的光学模块可容纳所有光学部件：分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
Thetametrisis显示器薄膜测量仪 FR-Scanner 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性：厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。
1、应用
半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si, Si, DLC, )
液晶显示
光学薄膜
聚合物
微机电系统和微光机电系统
基底：透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
Thetametrisis显示器薄膜测量仪*的光学模块可容纳所有光学部件：分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
Thetametrisis显示器薄膜测量仪 光学厚度测量仪通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
2、特征
单点分析(不需要预估值)
动态测量
包括光学参数(n和k，颜色) o 为演示保存视频
600 多种的预存材料
离线分析
免费软件更新
4、测量原理
白光反射光谱(WLRS)是测量从单层薄膜或多层堆叠结构的一个波长范围内光的反射量，入射光垂直于样品表面，由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光学常数(n和k)等。
1、样片平台可容纳任意形状的样品。450mm平台也可根据要求提供。真正的X-Y扫描也可能通过定制配置；
2、硅基板上的单层SiO2薄膜的厚度值。对于其他薄膜/基质，这些值可能略有不同；
3、15天平均值的标准差平均值。样品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
4、2 X (超过15天的日平均值的标准偏差)。样品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
5、测量结果与校准的光谱椭偏仪比较；
6、根据材料；
7、测量以8 "晶圆为基准。如有特殊要求，扫描速度可超过1000次测量/每分鐘.
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京公网安备 11010702002294号
