设备用途：

在光学玻璃镜片上和硅太阳能电池上制备类金刚石薄膜，作为减反射膜和保护层，在红外光学透镜上制备类金刚石薄膜起到增透和保护作用。

主要技术指标

真空指标极限真空度：≤5x10-4Pa (经烘烤除气后);

系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S;

系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到3x10-3 Pa;

停泵关机12小时后真空度：≤10Pa;

真空室真空室为圆筒形真空室，上盖电动提升，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。

样品可放置最大Φ300mm基片。

真空获得及测量分子泵+机械泵，数显复合真空计(皮拉尼规+电离规)

气路配备半导体标准气路柜，顶部接有排风。整套气路全部安装在一个密闭的配气柜中。气体的输送、分配采用工控机+PLC可编程控制，实行封闭式全自动进气。配备有毒气体检测与报警系统。配套气路使用的气路管道、VCR接头、每路气体配有单向阀、配有气动截止阀、质量流量控制器等全部使用进口件。对于腐蚀性及危险气体，使用高质量、全不锈钢质量流量计

配套电源射频电源

控制系统 手动或自动

工作压力控制系统手动或自动

水冷机组可选

尾气处理装置可选

电磁线圈可选