等离子聚焦离子束系统
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等离子聚焦离子束系统
来源:北京依维特技术服务有限公司
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简介:
蔡司双束电镜CROSSBEAM系列,是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。CROSSBEAM系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析,都能在不损失精度的前提下,提高聚焦离子束的应用效率。
工作原理
技术参数
选型原则
应用案例
设备结构
1,生命科学,如断层扫描,三维重构
2,电池领域,如原子层组分表征
3,半导体领域,如失效分析,电路修复
4,金属领域,如界面分析,亚表面分析
5,材料科学,如晶体微观结构分析,纳米图形化加工
6,透射电镜、EBSD、微观力学等多种样品的原位制备
7,微纳加工
电子束流5pA100nA
分辨率3nm@30KV
检测器lens Se、 Inlens esB、可变气压二次电子探测器VPSE、二次电子二次离子探测器SESI
、扫描透射电子探测器STEM、背散射探测器BSD
检测能力:SEM截面 、TEM制样 、三维重构
蔡司双束电镜CROSSBEAM系列,是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。CROSSBEAM系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析,都能在不损失精度的前提下,提高聚焦离子束的应用效率。
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