工作原理

IF-Profiler采用垂直扫描白光干涉技术：通过分光镜将宽带光源分为参考光与测量光，后者经显微物镜聚焦至被测表面后反射，与参考光在CCD相机传感器上形成干涉条纹；系统驱动压电陶瓷（PZT）带动物镜沿光轴方向进行纳米级步进扫描（步进精度1nm），同步采集不同高度位置的干涉图像；运用相移干涉算法与频域分析技术，从干涉信号中提取表面高度信息，重建三维形貌图（垂直分辨率达0.01nm）；结合智能去噪算法与形貌滤波器，自动分离表面波纹度与粗糙度成分，支持ISO 25178、GB/T 3505等国际国内标准参数计算。

应用范围

适配金属、陶瓷、聚合物、半导体及复合材料等多种材质表面，覆盖多行业表面质量检测需求：半导体领域（硅晶圆表面粗糙度Ra≤0.1nm验证、光刻胶涂覆均匀性分析）、精密光学（激光晶体端面抛光质量筛查、光学薄膜表面缺陷检测）、生物医疗（人工关节羟基磷灰石涂层厚度测量、牙科种植体表面处理工艺评估）、汽车制造（发动机缸体珩磨网纹角度检测、曲轴轴颈表面粗糙度一致性控制）及3C电子（手机玻璃盖板AF涂层耐磨性测试、陶瓷背板表面光泽度分析）等。

技术参数

垂直测量范围0.1μm-10mm，垂直分辨率0.01nm，横向分辨率0.5μm；扫描速度10μm/s-2mm/s可调，支持高速动态测量模式（最高500μm/s）；数据输出兼容ASCII、TXT、XML及专业分析软件格式（MountainsMap、Gwyddion）；设备重量18kg，尺寸450mm×350mm×500mm，工作温度15-35℃，湿度≤70%RH；配备5MP高分辨率CCD相机与10×/20×/50×可更换物镜，支持倾斜样品测量（最大倾斜角±15°）。

产品特点

非接触式测量，避免触针划伤软质表面；智能软件内置AI形貌分类算法，可自动识别划痕、橘皮、孔洞等缺陷类型；提供一键式标准参数计算（Ra、Rz、Rq等20+参数）与自定义滤波器设置功能；支持与机器人联动实现自动化生产线集成；通过CNAS实验室认可与ISO 17025计量认证，数据可追溯至国际计量基准。IF-Profiler以“精准、高效、智能”的特性，重新定义表面粗糙度检测技术新标准。