简介

KLA D600 探针式表面轮廓仪包括一个200mm自动样品载台和具有增强图像控制的光学器件。Alpha-Step轮廓仪体积小巧，专为高校、实验室和研究所设计，可为半导体和化合物半导体器件、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗行业提供台阶高度、粗糙度和应力测量。

KLA D600 探针式表面轮廓仪产品介绍：

KLA D600 探针式表面轮廓仪采用光学杠杆传感器技术提供高分辨率、较大的高度测量范围和准确的微力控制。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

KLA D600 探针式表面轮廓仪包括一个200mm自动样品载台和具有增强图像控制的光学器件。Alpha-Step轮廓仪体积小巧，专为高校、实验室和研究所设计，可为半导体和化合物半导体器件、LED、太阳能、MEMS、汽车和医疗行业提供台阶高度、粗糙度和应力测量。

KLA D600 探针式表面轮廓仪产品特点：

500万像素高分辨率彩色相机

平整的扫描平台

用于测量可视化的侧视视图

从0.03到15毫克的力控制范围

Z向扫描范围可达1.2mm

200毫米手动XY样品台

符合CE标准

KLA D600 探针式表面轮廓仪产品优势：

在重复性和再现性上具有良好表现

接触式测量，适用于多种材料

测量软材料的微力控制

梯形失真校正可消除侧视图造成的失真

弧形校正补偿探针的弧形运动

KLA D600 探针式表面轮廓仪产品测量原理：

KLA D600 探针式表面轮廓仪采用了光学杠杆传感器技术。光学杠杆传感器利用转轴组件上表面反射的激光束跟踪表面形貌。反射的光束随后投射到光电探测器上。对于 Alpha-Step，光束被分成两部分：一边投射到双电池光电探测器上，另一边投射到单电池光电探测器上 。这种设计可以在第一个探测器上对较小的步长进行高分辨率测量，而在第二个探测器上对较大的步长进行测量。激光束的偏转在测探针踪表面时发生变化，同时被光电探测器感应到，然后将这种偏转转换为形貌信号。光学杠杆的优势在于整个组件的质量小，可以进行低力测量。此外，该传感器响应速度快，可跟踪表面形貌的变化。

KLA D600 探针式表面轮廓仪行业应用：

高校和实验室

KLA D600 探针式表面轮廓仪是任何高校、研究机构或实验室的重要研究工具。该系统能够进行接触式的直接测量，结果与材料性质无关。研究人员能够测量任何透明或不透明材料的沉积厚度。Alpha-Step轮廓仪操作简便，简单培训即可让用户快速掌握和使用。

二次离子质谱（SIMS）产生的凹陷

准确测量二次离子质谱（SIMS）所产生的凹陷的深度，以确定离子浓度和凹陷深度的关系。测量凹陷底面的粗糙度，以表征离子束能量的均匀性。

试验性生产

Alpha-Step探针式轮廓仪是小批量试验性生产的理想选择。操作员可以在样品的多个位置快速聚焦和测量，以反映样品表面的工艺变化。Alpha-Step轮廓仪的软件还支持操作员、系统和批次信息的追踪，以方便生产中的统计过程控制。

常规应用

Alpha-Step探针式轮廓仪被广泛用于生产或研发。例如测量纺织品安全特征和与纺织品吸光率相关的粗糙度，还有消费电子产品的应用,包括测量触摸屏形貌和玻璃屏幕上的薄膜台阶高度。

半导体和化合物半导体

测量在半导体前段、后段和封装工艺中的表面形貌，包括测量光刻胶厚度、蚀刻深度、溅射高度、CMP前后形貌、粗糙度、样品翘曲和应力，以改进生产工艺控制。