三维测量显微镜
三维表面微观测量及粗糙度评定广泛应用于精密加工、半导体加工、材料分析等领域
优势
√亚纳米级纵向分辨率，适合光滑表面测量分析
√简单、精确、快速、可重复
√丰富的测量模式支持不同2D/3D测量需求
功能
√表面三维粗糙度非接触测量
√表面微观三维结构测量
√膜厚测量与分析
√显微反射光谱测量(选)
适用对象
精密光学元件，微纳加工器件，金属机加工零件，晶圆等
测量原理
√白光干涉显微测量原理：采用白光光源，将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结形成微观三维轮廓，采用不同测量倍率物镜，纵向测量分辨率可达到亚纳米量级
√显微光谱测量：选配光谱模块可以实现表面微区光谱测量和膜厚测量功能
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