半导体检查显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)
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半导体检查显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)
来源:昆山蕴科机电科技有限公司
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简介: MX6R各项操作根据人机工程学设计,Zui大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。
产品详细

MX6R半导体检查显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)

MX6R半导体检查显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)


商品说明

MX6R各项操作根据人机工程学设计,Zui大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。

其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

半导体检查显微镜
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标签:半导体检查显微镜,检测设备
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