电子束蒸发源
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电子束蒸发源
来源:科睿设备有限公司
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简介: 电子束蒸发源是一种高效的蒸发设备,特别适用于难以通过常规热蒸发技术蒸发的材料。它通过高能电子束直接加热靶材,能够快速升温且无本质温度限制,相比传统加热方式具有显著优势。该设备由高质量、高真空兼容材料制成,可承受250℃的烘烤温度。
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电子束蒸发源

电子束蒸发源


电子束蒸发源是一种高效的蒸发设备,特别适用于难以通过常规热蒸发技术蒸发的材料。它通过高能电子束直接加热靶材,能够快速升温且无本质温度限制,相比传统加热方式具有显著优势。该设备由高质量、高真空兼容材料制成,可承受250℃的烘烤温度。

对于使用常用热蒸发技术非常难蒸发的材料,电子束蒸发是一种有效的蒸发手段.通过高能电子束射向靶材来升高靶材温度.相比于通常辐射或间接电阻加热方式,使用这种方式来达到温度没有本质的限制。

我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,完全与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。

应用领域:

表面科学

金属薄膜接触脚

MBE掺杂应用

型号参数:

多种不同型号提供不同功率的电子束蒸发源,最高500W,甚至按照客户需要提供更高功率的电子束蒸发源。

提供Flux电流监控,监控蒸镀速率。

坩埚容量小,节约靶材,提供最小0.21 mm3,最大1000 mm3的坩埚。

在高真空中,可以烘烤至250℃。

自动化软件控制;

手动/马达驱动挡板;

占用腔体空间小

冷却水流量小

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标签:电子束蒸发源,检测设备
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