简介： 本发明提供一种光刻设备硅片承载台、及其组装方法和光刻设备，涉及光刻设备的技术领域。其中，光刻设备硅片承载台，包括短行程模块、转接结构和桥接板组件，转接结构与短行程模块固定连接，转接结构与桥接板组件可拆卸地固定连接。该光刻设备硅片承载台，通过将桥接板组件与桥接板组件可拆卸的固定连接，当测量硅片台和曝光硅片台发生碰撞导致桥接板组件发生破坏，或桥接板组件的上表面的疏水涂层因时间或碰撞发生失效时，将转接结构与桥接板组件拆开，更换发生损坏的桥接板组件。