简介： 本发明提供一种堆叠导电柱互联结构及其制备方法，堆叠导电柱互联结构包括：依次垂直层叠的第一介质层至第N介质层；N为大于或等于2的整数；任意的第n介质层中具有第n通槽；垂直堆叠且依次邻接的第一导电柱至第N导电柱；任意的第n导电柱位于第n通槽中，任意的第n导电柱包括：位于第n通槽的内壁表面的第n应力阻挡层以及位于第n应力阻挡层上的第n导电本体；n为大于或等于1且小于或等于N的整数；任意的第k导电本体和第k+1应力阻挡层接触，k为大于或等于1且小于或等于N‑1的整数。所述堆叠导电柱互联结构避免可靠性测试失效且提高了使用寿命。