简介： 本发明公开了一种基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法，包括：对小样本失效数据进行处理，所述处理包括数据清洗与特征提取，数据集成与变换；建立基于确定分布、大样本、多源信息的可靠性评估模型，根据可靠性评估模型进行数据可靠性评估；基于时效性和有效性下数据的健康状态评估，根据评估结果进行预防性维修决策；基于深度学习进行数据的特征提取、基于深度置信网络进行特征诊断、基于诊断结果进行预测性状态维修决策；本发明能够提高维修效率，节约维修资源。