简介： 本发明提供一种异质材料表面绝缘结构激光加工系统及加工方法，主要解决异质材料绝缘结构存在加工质量不高、对加工材料产生损伤以及加工边沿平整度较差，导致构件绝缘阻抗大幅降低和失效的问题。该异质材料表面绝缘结构激光加工系统包括飞秒激光器、空心电机、同轴视觉系统以及依次设置在飞秒激光器的激光输出光路上的扩束镜、第一反射镜、径向偏振片、第二反射镜、第三反射镜、楔形镜、道威棱镜、第四反射镜、聚焦镜；空心电机用于带动道威棱镜实现高速旋转；同轴视觉系统用于实现加工区域的定位和观测。该激光加工系统精度和稳定性高可抑制基底材料损伤，绝缘结构的边沿形貌平整、一致性高。