简介： 基于低频噪声与加速老化试验相结合的VCSEL预筛选方法，涉及一种垂直腔面发射激光器的预筛选方法，解决现有对VCSEL的筛选方法存在可靠性低且不具备普适性等问题，一、根据VCSEL器件结构搭建其噪声谱测量装置；二、测量VCSEL器件的初始低频电噪声；三、测量室温下经24h连续电功率老化试验后的VCSEL噪声变化量；四、测量热应力加速试验下待测VCSEL器件的缺陷状态，并确立由缺陷状态变化量引起的1/f噪声功率谱密度；五、确定最佳噪声判据阈值，建立待测VCSEL器件预筛选判据模型，对VCSEL器件预筛选；该发明可以更加有效地对初测噪声较小，经过老化试验后却较早失效的VCSEL器件进行筛选，同时对同一批次噪声阈值一致的器件进行预筛选，实现对VCSEL器件的有效精确筛选。