简介： 本发明提供一种监控化学气相沉积前腔体洁净度的方法,其利用一种会因为腔体洁净度而导致消光系数值产生变化的材质如氮氧化硅来作为一监控层,通过经过两次不同时间长度的清洗工艺后所沉积氮氧化硅层进行消光系数值测量,观察两氮氧化硅层的消光系数值的差异,来对腔体洁净度进行监控,以简便的方式控制腔体的洁净度,降低了因微尘粒而产生组件失效的危险,提高了效率。