简介： 本发明涉及表面工程技术领域，尤其涉及一种用于金属或合金表面的复合薄膜、其制备方法及应用。所述复合薄膜包括：复合在金属或合金表面的感应层A；所述感应层包括TiAlN‑Hf薄膜；复合在所述感应层A上的感应层B；所述感应层B包括TiAlN‑Ag薄膜；复合在所述感应层B上的表面层。将上文所述的复合薄膜沉积在油润滑工况下服役的精密摩擦件上，此时的基体即为精密摩擦件，在设备运行过程中发生磨损，通过监测润滑油液中金属磨粒的成分和含量变化，可实现对磨损失效状态的有效监测。因而，所述复合薄膜可以用作金属摩擦件磨损状态监测材料，以克服现有技术无法实现复杂机械设备内部精密摩擦件磨损失效预警的精确定位的问题。