简介： 本发明提供了一种制作透射电镜样品的方法，其中，提供一待观测硅片，待观测硅片中包括一失效点，包括以下步骤：对待观测硅片中的失效点进行标记以形成标记区域；切割待观测硅片以获取包含标记区域的六面体；提供一单晶硅制成的载体硅片，切割载体硅片的上表面，以获取一凹槽；通过液体胶将六面体与标记区域相邻的侧面粘贴于凹槽内，并使六面体平行于凹槽的边缘；通过粘贴有六面体的载体硅片及六面体进行切割，以获得透射电镜样品。其技术方案的有益效果在于，实现提升制作透射电镜样品精度，提高透射电镜样品制作效率，解决了有技术中制作透射电镜样品易出现失效点打磨过度造成透射电镜样品制作失败的问题。